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石英玻璃兩大標(biāo)準(zhǔn)體系詳解:面向應(yīng)用的中國(guó)JGS系列(JGS1/JGS2/JGS3)與定義極限的康寧7980(HPFS?)

文章出處:http://www.cc361.cn/news/944.html人氣:3時(shí)間:2025-12-20

石英玻璃,這一看似普通的透明材料,是現(xiàn)代科技體系中不可或缺的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料。其核心成分為非晶態(tài)二氧化硅,通過(guò)高溫熔制或化學(xué)氣相沉積等工藝制成,性能遠(yuǎn)超普通玻璃。

不可替代的核心特性
石英玻璃具備四大核心優(yōu)勢(shì):極低的熱膨脹系數(shù)(約0.5×10??/℃),確保極端溫度下的尺寸穩(wěn)定性;卓越的光學(xué)透過(guò)性,覆蓋從深紫外(170nm)到近紅外的寬廣光譜;優(yōu)異的化學(xué)純度和穩(wěn)定性,耐受多數(shù)酸、堿及高溫侵蝕;極高的激光損傷閾值,適用于高能激光系統(tǒng)。這些特性使其成為苛刻環(huán)境下的首選材料。

主流型號(hào):兩大體系的邏輯
全球石英玻璃主要分為兩大標(biāo)準(zhǔn)體系,選擇取決于具體應(yīng)用需求。

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)JGS系列以應(yīng)用為導(dǎo)向分為三類(lèi):

JGS1(紫外級(jí))采用氣相沉積工藝,羥基含量低,專(zhuān)用于深紫外光刻及激光系統(tǒng);

JGS2(光學(xué)級(jí))由高純石英砂熔煉而成,性?xún)r(jià)比高,是可見(jiàn)光至近紅外光學(xué)元件的主流選擇;

JGS3(紅外級(jí))則優(yōu)化了特定紅外波段的透過(guò)性能。

國(guó)際標(biāo)桿以康寧7980型(HPFS®)為代表,采用超高純化學(xué)氣相沉積法制備。它在純度(金屬雜質(zhì)<1ppm)、紫外透過(guò)率(193nm處>99.9%)及折射率均勻性(達(dá)±5×10??)上定義了行業(yè)最高標(biāo)準(zhǔn),是尖端光刻與基礎(chǔ)科學(xué)研究的核心材料。

選型邏輯:性能與需求的平衡
選型并非追求最高指標(biāo),而是精準(zhǔn)匹配。對(duì)于大多數(shù)光學(xué)儀器和工業(yè)視窗,JGS2已完全勝任。當(dāng)涉及深紫外或高功率激光時(shí),需在JGS1與7980型間權(quán)衡:JGS1能滿(mǎn)足多數(shù)科研與工業(yè)需求,而追求極致性能與可靠性的最前沿半導(dǎo)體制造(如EUV光刻)則必須采用7980型。國(guó)防等強(qiáng)調(diào)供應(yīng)鏈自主的領(lǐng)域,JGS系列是保障安全可控的基石。

無(wú)處不在的關(guān)鍵應(yīng)用
石英玻璃的價(jià)值在其應(yīng)用場(chǎng)景中充分體現(xiàn):它是光刻機(jī)透鏡、將電路圖精確“印刷”于芯片;是太空望遠(yuǎn)鏡的鏡片、凝視宇宙邊緣;是激光核聚變裝置的窗口、承受極高能量;也是光纖預(yù)制棒的核心、構(gòu)筑全球信息網(wǎng)絡(luò)的脊梁。

石英玻璃以其極致的穩(wěn)定性與純凈度,默默支撐著精密光學(xué)、半導(dǎo)體、航空航天、新能源等眾多高端科技領(lǐng)域的發(fā)展。

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