在高度自動化的現(xiàn)代晶圓廠中，看似簡單的傳輸導(dǎo)軌系統(tǒng)實(shí)則是維持制造流程連續(xù)性的關(guān)鍵動脈。其中，精密氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌憑借其獨(dú)特的材料性能組合，已成為半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部及廠務(wù)自動化傳輸系統(tǒng)中不可或缺的關(guān)鍵部件，在晶圓、光罩及各種載具的精密定位與平穩(wěn)傳